Das E-Panel misst die elektrostatische Aufladung von Flat-Panel-Displays während der Produktion. Es minimiert Ausschussraten, indem es die Punkte im Produktionsprozess aufzeigt, an denen elektrostatische Aufladungen die Substrate beeinflussen oder beschädigen.
Am häufigsten entwickeln sich elektrostatische Ladungen durch Reibung innerhalb des Produktionsprozesses auf der Glasrückseite der Flat-Panel-Displays. Die elektrischen Felder reichen durch die dielektrische Glasscheibe und induzieren Potentialunterschiede in Strukturen auf der Vorderseite, was zu ESD-Schäden führt. Auch gut entwickelte Elektrostatik-Schutz-Konzepte können nicht alle Punkte vorhersehen oder verhindern, an denen elektrostatische Aufladungen an den Substraten entstehen können - insbesondere, da die Messung aller Bereiche des Produktionsprozesses mit konventionellen Hand-Messgeräten schon bei Produktionsstillstand fast unmöglich ist. Die mit konventionellen Messgeräten hier aufgenommenen Messergebnisse können außerdem deutlich von den tatsächlichen Ladungen abweichen, die im laufenden Betrieb durch die beweglichen Teile (und auch das Glas selbst) entstehen.
Elektrostatische Ladungen auf den Glassubstraten können zu ESD-Vorfällen, ungleichmäßigen Oberflächenbedingungen oder Partikelanlagerungen führen. Die andauernde Kontrolle elektrostatischer Potentiale auf der Oberfläche der Substrate ist daher ein notwendiges Mittel zur Qualitätssicherung. Das E-Panel ermöglicht diese Kontrolle.
Das E-Panel ist ein flexibles Polyimid-Board (Größe: 178mm x 1000mm, maximale Dicke: 1,65mm, Gewicht: 80g), das mit einem wieder lösbarem Klebefilm vor Ort auf ein unbearbeitetes Glaspanel aufgebracht wird. Es enthält acht verschiedene Messflächen, die linear gleichmäßig auf der Länge von einem Meter verteilt sind. Elektronik und Batterie, sowie die Kontaktpunkte für das Computer-Interface, sind in der Controller-Box verbaut. Das Laden der Batterie des E-Panels, Kommunikation und Datentransfer, sowie Neutralisation und Nullstellen werden über das manuell aufsetzbare Interface ermöglicht, welches mit der Controller-Box über Federkontakte verbunden und magnetisch befestigt wird. Eine Batterieladung ist ausreichend für zwei Stunden Messzeit. Das gesamte Messsystem ist hermetisch abgeschlossen und mit einer stark chemisch resistenten Polyimid-Schicht umgeben, sodass es auch in Nassprozessen und im Vakuum eingesetzt werden kann. Die Echtzeituhr ermöglicht es, die verarbeiteten Messdaten zu synchronisieren. Natürlich wird das E-Panel mit spezieller Analysesoftware geliefert.
