Produkte

Elektrostatische Ladungen können zu einer Reihe Probleme an Substraten und dem Produktionsergebnis führen. Um diese Ladungen genau messen zu können müssen sich alle Teile im Produktionsprozess normal bewegen - auch die Messinstrumente selbst. Estion bietet Messsysteme an, die In-situ-Messungen der elektrostatischen Aufladung in Echtzeit innerhalb vollautomatisierter Produktionsprozesse durchführen.
Für die Entwicklung unserer Produkte greifen wir auf mehr als 30 Jahre Erfahrung und den ständigen Kontakt mit unseren Kunden, der uns genaue Einblicke in ihre Bedürfnisse und Probleme ermöglicht, zurück. Mit diesen Produkten ermöglichen wir Unternehmen, ihren Produktionsprozess zu überwachen und zu kontrollieren und damit Probleme zu identifizieren, die durch elektrostatische Ladungen hervorgerufen werden:

Charged Plate Monitor/CPM

Ein Handgerät zur Ionisationsmessung speziell in Reinraumkabinen und an schwer zugänglichen Stellen.

E-Reticle

Das E-Reticle ermöglicht In-Situ-Messungen von elektrostatischen Aufladungen auf Fotomasken während des Produktions- und Nutzungsprozesses.

E-Wafer

Das E-Wafer integriert Messtechnik für elektrostatische Aufladungen in die Form eines 200mm oder 300mm Wafer, der In-Situ-Messungen während des Produktionsprozesses erlaubt.

Photon Ionizer

Der Photon Ionizer ist ein kompakter Ionisator, der schnelle Neutralisationszeiten mit absoluter Balance ermöglicht.

EUV-E-Reticle (in Entwicklung)

Das EUV-E-Reticle identifiziert Stellen, an denen Partikelanziehung durch elektrische Felder EUV-Masken beschädigen können.

E-Board (in Entwicklung)

Das E-Board misst elektrostatische Aufladungen an Leiterplatten innerhalb des Produktions- oder Bestückungsprozesses.

E-Tracker (in Entwicklung)

Der E-Tracker ist unser bisher kleinstes Messgerät.


Die Entwicklung geht weiter...

Auch wenn wir aktuell noch zwei Produkte in der Entwicklung haben, denken wir gerne schon einen Schritt weiter voraus.
Unser Ziel ist es, noch mehr In-Situ-Messgeräte für die Halbleiterindustrie (und möglicherweise auch andere Branchen) zu entwickeln. Als ersten Schritt in diese Richtung möchten wir Messsysteme für andere Parameter (wie z.B. Temperatur oder chemische Kontamination) in unsere Substrate einbauen. Dabei richten wir uns natürlich vor allem nach dem, was unsere Kunden brauchen.

Haben Sie Wünsche für neue Messgeräte? Dann kontaktieren Sie uns!